เครื่องระเหยสุญญากาศ Edwards model E306A และการประยุกต์ใช้
Loading...
Date
2017
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
มหาวิทยาลัยพะเยา
Abstract
เนื่องด้วยกลุ่มวิจัยแก๊สเซนเซอร์มหาวิทยาลัยพะเยายังขาดเทคโนโลยีการทำฟิล์มบาง ดังนั้นห้องปฏิบัติการฟิสิกส์มหาวิทยาลัยจึงได้ทำการจัดสรรงบประมาณ เพื่อจัดซื้อเครื่องเคลือบระเหยสุญญากาศ Edwards model E306A ดังนั้นเพื่อให้เครื่องระเหยสุญญากาศ ใช้งานได้มีประสิทธิสูงสุดจึงมีความจำเป็นที่จะต้องศึกษาทฤษฎี ระบบการทำงาน และวิธีการใช้งานของตัวเครื่อง รวมไปถึงทดลองประยุกต์ใช้เครื่อง ซึ่งในการวิจัยครั้งนี้ได้ทำการแบ่งการศึกษาออกเป็น 3 ตอน ได้แก่ ตอนที่ 1 ระบบการทำงานและวิธีการใช้งานเครื่องระเหยสุญญากาศ ซึ่งผลการศึกษาพบว่า ระบบการทำงานของเครื่องระเหยสุญญากาศ แบ่งออกเป็น 6 ระบบ ได้แก่ 1) ระบบภาชนะสุญญากาศ (Vacuum chamber) 2) ระบบเครื่องสูบสุญญากาศ (Vacuum pump) 3) ระบบมาตรวัดความดัน (Pressure gauge) 4) ระบบให้ความร้อนแก่สารเคลือบ (Heating) 5) ระบบควบคุมการเคลือบฟิล์ม (Control) และ 6) ระบบน้ำหล่อเย็น (Cooling water) และวิธีการใช้งานมีทั้งหมด 29 ขั้นตอน ตอนที่ 2 ประยุกต์ใช้เครื่องระเหยสุญญากาศ ในการเคลือบฟิล์มบางทองคำ เพื่อทำเป็นแผ่นอินเตอร์ดิจิตอล ผลที่ได้พบว่า เครื่องระเหยสุญญากาศสามารถเคลือบฟิล์มทองคำ และทำเป็นแผ่นอินเตอร์ดิจิตอลได้ตามที่ต้องการ ตอนที่ 3 ประยุกต์ใช้เครื่องระเหยสุญญากาศในการสร้างอุปกรณ์อิเล็กโทรนิกส์เบื้องต้น เช่น ทรานซิสเตอร์สนามไฟฟ้า ผลที่ได้พบว่า เครื่องระเหยสุญญากาศไม่ประสบความสำเร็จในการเคลือบฟิล์มซิลิกา และสร้างซิงค์ออกไซด์ทรานซิสเตอร์ แต่เครื่องระเหยสุญญากาศสามารถเคลือบฟิล์มทองคำและฟิล์มซิงค์ได้ตามที่ต้องการ
Description
The purposes of this research. First is study the system and operation of the Evaporation coater Edwards model E306A. The researcher found the following results the system of Evaporation coater Edwards model E306A has divided into 6 levels include Vacuum chamber, Vacuum pump, Pressure gauge, Heating, Control, Cooling water. And the operation has 29 procedures. Second is applied to use Evaporation coater Edwards model E306A onto deposited gold thin film to make Inter Digital Board, found the following results, Evaporation coater Edwards model E306A can deposited gold thin film and can make Inter Digital Board. Third is applied to use Evaporation coater Edwards model E306A into Electronic equipment such as Field Effect Transistor (FET), The results show that the Evaporation coater Edwards model E306A can’t make Zinc Oxide Transistor and can’t deposited Silica Film but can deposited Gold Film and Zinc Film.
Keywords
Evaporation coater model E306A (Edwards), อินเตอร์ดิจิตอล, Vacuum, ซิงค์ออกไซด์ทรานซิสเตอร์สนามไฟฟ้า, Inter digital, ZnO(FET)
Citation
ภาคภูมิ มั่นประสงค์. (2560). เครื่องระเหยสุญญากาศ Edwards model E306A และการประยุกต์ใช้. [ปริญญานิพนธ์ไม่ได้ตีพิมพ์]. มหาวิทยาลัยพะเยา.