การพัฒนาอุปกรณ์ของไหลจุลภาคแบบดิจิทัลขั้วขนาน
Loading...
Date
2020
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
มหาวิทยาลัยพะเยา
Abstract
หลักการอิเล็กโทเวทติ่งชนิดขั้วไฟฟ้าคู่ขนานถูกประยุกต์เพื่อเคลื่อนหยดของเหลวขนาดเล็กด้วยความต่างศักย์ไฟฟ้าระหว่างขั้ว เรียกว่า อุปกรณ์ของไหลจุลภาคดิจิทัล งานวิจัยนี้ได้ศึกษาการประดิษฐ์อุปกรณ์ของไหลจุลภาคดิจิทัลชนิดแผ่นคู่ขนาน โดยประดิษฐ์ขั้วไฟฟ้าบนกระจกนำไฟฟ้าชนิดอินเดียมทินออกไซด์ ด้วยวิธีการลิโทกราฟีแบบใช้แสงอัลตราไวโอเลตร่วมกับการกัดทางเคมี ขั้วไฟฟ้า ขนาด 2x2 เซ็นติเมตร ระยะห่างระหว่างขั้วอิเล็กโทรด 250 ไมโครเมตร ถูกเคลือบด้วยแผ่นพลาสติกบางและประกบเข้ากับกระจกนำไฟฟ้าอีกแผ่น โดยมีแผ่นเทปกาวพลาสติกความหนา 112.14 และ 155.14 ไมโครเมตรกั้นเพื่อให้เกิด ช่องว่างระหว่างแผ่นสำหรับการเติมของเหลว ผลการทดลองการกัดแผ่นฟิล์มเคลือบในกระบวนการลิโทกราฟีแบบใช้แสงอัลตราไวโอเลต พบว่า ในสารละลายโซเดียมคาร์บอเนต 3 กรัม ต่อน้ำ 100 มิลลิลิตร เป็นเวลา 4 นาที ที่อุณหภูมิห้อง และกัดสารนำไฟฟ้าที่เคลือบบนผิวกระจกด้วยกรดไฮโดรคลอลิกความเข้มข้น 20% ร่วมกับผงสังกะสี เป็นเวลา 1 นาที 30 วินาที ผลการทดลองการจ่ายศักย์ไฟฟ้าเพื่อเคลื่อนหยดของเหลวเท่ากับ 300 และ 480 โวลต์ สำหรับช่องว่างระหว่างขั้วอิเล็กโทรดแผ่นบน กับแผ่นล่างความหนา 112.14 และ 155.14 ไมโครเมตร ตามลำดับ
Description
Parallel plate electrowetting is applied to moving droplets with the electric potential that the device is called digital microfluidics. This research, we studied the invention of parallel-plate digital microfluidics. The electrodes were fabricated on ITO. electrically conductive glass by photolithography and chemicals etching methods. The photo mask of electrode template is designed by 2x2 cm and electrode gap is 250 μm. The electrodes were coated with thin plastic film and spliced with another conductive glass to form the parallel plate. The plastic adhesive tape was used as a separation layer to create a gap between the top and bottom electrodes. The parallel-plate gaps that were created in this research are 112.40 and 155.14 μm After chemical etching with mixture of sodium carbonate 3 g in 100 ml DI water. By dipping the electrode in the mixture solution for 4 minutes at room temperature and then etching the electrically conductive glass surface with zinc and 20% hydrochloric acid for 90 seconds. The results showed that the supply voltage for moving droplets are 300 and 480 volts for the parallel-plate gap are 112.40 and 155.14 μm, respectively.
Keywords
ของไหลจุลภาคแบบดิจิทัล, ลิโทกราฟีแบบใช้แสง, การกัดทางเคมี, digital microfluidics, photolitrography, chemicals etching
Citation
มิณธิรา เจนดง. (2563). การพัฒนาอุปกรณ์ของไหลจุลภาคแบบดิจิทัลขั้วขนาน. [ปริญญานิพนธ์ไม่ได้ตีพิมพ์]. มหาวิทยาลัยพะเยา.