การทำดิจิตอลซับสเตรทในรูปแบบต่าง ๆ สำหรับใช้ในการทำเซนเซอร์ก๊าซ
No Thumbnail Available
Date
2018
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
มหาวิทยาลัยพะเยา
Abstract
โดยปกติแล้ว ความไวของก๊าซเซ็นเซอร์จะขึ้นอยู่กับอุณหภูมิ ความเข้มข้นของก๊าซสารที่ใช้ทำเซนเซอร์ โครงสร้างของสารและรูปแบบของอิเล็กโทรด ในงานวิจัยนี้ได้ออกแบบ และสร้างลวดลายขั้วอิเล็กโทรดแบบอินเตอร์ดิจิตอล สำหรับเป็นแผ่นรองรับหัวตรวจจับก๊าซแบบต่าง ๆ โดยใช้สารโครงสร้างนาโนซิงก์ออกไซด์เป็นสารตรวจจับก๊าซ และนำไปทดสอบสมบัติการตรวจจับก๊าซแก๊สเอทานอล ขั้วอิเล็กโทรดแบบอินเตอร์ดิจิตอลเตรียมด้วยกระบวนการระเหยสุญญากาศทองคำลงบนแผ่นอลูมิน่าและแกะสลักฟิล์มทองด้วยเลเซอร์มาร์กเกอร์ เพื่อสร้างลวดลายอิเลคโทรด หลังจากนั้นขั้วอิเล็กโทรดแบบอินเตอร์ดิจิตอล ถูกเคลือบด้วยสารโครงสร้างนาโนซิงก์ออกไซด์ โดยควบคุมความหนาและพื้นที่สัมผัส และทำการตรวจวัดความไวของก๊าซเซ็นเซอร์ต่อก๊าซเอทานอลที่ความเข้มข้นต่าง ๆ ผลการทดลองพบว่า ความไวของก๊าซเซ็นเซอร์ขึ้นอยู่กับลวดลายของขั้วอิเล็กโทรดแบบอินเตอร์ดิจิตอลหลังจากนั้นจึงศึกษาลวดลายของหัวตรวจจับก๊าซที่ดีที่สุด
Description
Normally, the sensitivity of the gas sensor was strongly depended on the temperature, gas concentration, substance material, morphologies of the substance and also the patterns of the electrode. In this research, the various inter-digital patterns were designed and created and used as gas sensor substrate. The ZnO nanostructures were used as a substance material and test the gas sensing properties to ethanol gas. The inter-digital electrodes were prepared by evaporated gold on alumina substrate and then etched by laser marking machine to form electrode patterns. After that, the inter-digital
electrodes were coated with the ZnO nanostructures by control the thickness and sensing area. The sensitivity of the gas sensor to ethanol at various ethanol concentrations was tested. It was found that the gas sensitivity depends on inter-digital electrode patterns. Finally, the optimize pattern were investigated.
Keywords
ซิงก์ออกไซด์, โครงสร้างนาโน, ก๊าซเซนเซอร์, อินเตอร์ดิจิตอลอิเลคโทรด, ZnO, Nanostructures, gas sensor, inter-digital electrodes
Citation
ปิยะพร ชัยเจริญ. (2561). การทำดิจิตอลซับสเตรทในรูปแบบต่าง ๆ สำหรับใช้ในการทำเซนเซอร์ก๊าซ. [ปริญญานิพนธ์ไม่ได้ตีพิมพ์]. มหาวิทยาลัยพะเยา.