Browsing by Author "ภาคภูมิ มั่นประสงค์"

Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Item
    เครื่องระเหยสุญญากาศ Edwards model E306A และการประยุกต์ใช้
    (มหาวิทยาลัยพะเยา, 2017) ภาคภูมิ มั่นประสงค์
    เนื่องด้วยกลุ่มวิจัยแก๊สเซนเซอร์มหาวิทยาลัยพะเยายังขาดเทคโนโลยีการทำฟิล์มบาง ดังนั้นห้องปฏิบัติการฟิสิกส์มหาวิทยาลัยจึงได้ทำการจัดสรรงบประมาณ เพื่อจัดซื้อเครื่องเคลือบระเหยสุญญากาศ Edwards model E306A ดังนั้นเพื่อให้เครื่องระเหยสุญญากาศ ใช้งานได้มีประสิทธิสูงสุดจึงมีความจำเป็นที่จะต้องศึกษาทฤษฎี ระบบการทำงาน และวิธีการใช้งานของตัวเครื่อง รวมไปถึงทดลองประยุกต์ใช้เครื่อง ซึ่งในการวิจัยครั้งนี้ได้ทำการแบ่งการศึกษาออกเป็น 3 ตอน ได้แก่ ตอนที่ 1 ระบบการทำงานและวิธีการใช้งานเครื่องระเหยสุญญากาศ ซึ่งผลการศึกษาพบว่า ระบบการทำงานของเครื่องระเหยสุญญากาศ แบ่งออกเป็น 6 ระบบ ได้แก่ 1) ระบบภาชนะสุญญากาศ (Vacuum chamber) 2) ระบบเครื่องสูบสุญญากาศ (Vacuum pump) 3) ระบบมาตรวัดความดัน (Pressure gauge) 4) ระบบให้ความร้อนแก่สารเคลือบ (Heating) 5) ระบบควบคุมการเคลือบฟิล์ม (Control) และ 6) ระบบน้ำหล่อเย็น (Cooling water) และวิธีการใช้งานมีทั้งหมด 29 ขั้นตอน ตอนที่ 2 ประยุกต์ใช้เครื่องระเหยสุญญากาศ ในการเคลือบฟิล์มบางทองคำ เพื่อทำเป็นแผ่นอินเตอร์ดิจิตอล ผลที่ได้พบว่า เครื่องระเหยสุญญากาศสามารถเคลือบฟิล์มทองคำ และทำเป็นแผ่นอินเตอร์ดิจิตอลได้ตามที่ต้องการ ตอนที่ 3 ประยุกต์ใช้เครื่องระเหยสุญญากาศในการสร้างอุปกรณ์อิเล็กโทรนิกส์เบื้องต้น เช่น ทรานซิสเตอร์สนามไฟฟ้า ผลที่ได้พบว่า เครื่องระเหยสุญญากาศไม่ประสบความสำเร็จในการเคลือบฟิล์มซิลิกา และสร้างซิงค์ออกไซด์ทรานซิสเตอร์ แต่เครื่องระเหยสุญญากาศสามารถเคลือบฟิล์มทองคำและฟิล์มซิงค์ได้ตามที่ต้องการ